產(chǎn)品介紹：

名  稱：安賽斯程控勻膠機(jī)

型  號：12英寸

應(yīng)  用：安賽斯程控勻膠機(jī)勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品概述：

　　安賽斯程控勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中大達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個步驟可達(dá)到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

l  工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不會生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

咨詢或索取詳細(xì)產(chǎn)品資料，請聯(lián)系ANALYSIS（安賽斯）工作人員。

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